可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。

可以根据晶圆尺寸、检查内容选择最适用的一款

我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查内容，选用微观检查专用型号“L型”或微观•宏观检查兼用型号“LMB型”。

一台装置对应90～725 μm厚晶圆

一台装置可以对应90～725 μm厚晶圆的微观•宏观检查。可以最多登记10种需要检查的晶圆厚度。
 

进一步优化的宏观检查

在背面宏观检查上，使用最大360°的倾斜角能够比较容易的发现伤痕和微尘。利用360°旋转功能，完全可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆最大倾斜30°进行观察。
 

 

对应了SEMI S2/S8和RoHS的高度可靠性

为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面设置片盒的设计。在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。